微細構造評価技術に関する研究

薄膜・微細構造は高次機能性を実現するための基幹要素として様々な産業分野で用いられてきています。その信頼性向上・高機能化のために薄膜・極微小領域の機械的特性評価の必要性が高まっています。ナノインデンテーション試験は、そのための有力かつ実用的な手法の一つです。しかし、測定サイズが表面近傍の微小領域のため、表面形状・表面性状の把握が重要であります。本研究では、このような微小領域の表面性状・表面形状の機械的特性に及ぼす影響や、従来の硬さ試験との連続性などについて取り組みを行うことにより、微小領域・表面層の機械的特性評価の高度化を目的とします。具体的には、マクロ～ナノ領域にかけて、表面形状を迅速に評価できる顕微鏡システムの構築、押込みによって生じる圧子下および周辺部の表面性状の評価などに取り組んでいます。このような試験法の高度化は、広く様々な産業分野への貢献が期待できるものと考えています。

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関連項目

• 表面改質層の機械的特性評価に関する研究（平成23年度研究概要）
• 微小表面領域の機械的特性評価の高度化に関する研究（平成22年度研究概要）
• 表面層の機械的特性評価の高度化に関する研究（平成21年度研究概要）
• 微細構造評価技術の開発（平成20年度研究概要）
• 透明材料表面層の物性評価技術に関する研究（平成19年度研究概要）
• 高品質加工表面層評価に関する研究（平成18年度研究概要）
• 微小機械部品評価技術に関する研究（平成17年度研究概要）

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